等离子光氧一体机处理技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。利用所产生的电子、自由基等活性粒子、电离、裂解工业废气中的各组成份，从而各种污染源排放的异味、臭味污染物，使气体达到低毒化、保护人类生存环境。等离子光氧一体机采用低温等离子体分解油雾、废气污染介质时，等离子体中的离子起决定性的作用。流星雨状的离子与介质内分子发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。

从净化空气效率来考虑，我们选择了电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放电低温等离子体与吸附技术相结合的原理对气体进行，其中低温等离子体主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、树脂、等气体及，吸附材料主要用于去除二氧化碳以及臭氧等副产物。净化装置由初滤单元、低温等离子体发生器及过滤单元、风机等设备和部件组成。

在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。